申请号/专利号： 95105687 提供一种对铜的浸蚀速度快、浸蚀后铜的表面不易氧化的过硫酸盐型浸蚀液。该浸蚀液系在含过硫酸盐的水溶液中添加选自咪唑、咪唑衍生物、吡啶衍生物、三嗪和三嗪衍生物中的至少一种而成。
| 申请日： | 1995年06月28日 |
| 公开日： | 1996年02月28日 |
| 授权公告日： | 2002年01月30日 |
| 申请人/专利权人： | 美克株式会社 |
| 申请人地址： | 日本兵库县 |
| 发明设计人： | 中川登志子 |
| 专利代理机构： | 上海专利商标事务所 |
| 代理人： | 林蕴和 |
| 专利类型： | 发明专利 |
| 分类号： | C23F1/18 |
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